2016年06月24日
コマツ(社長:大橋徹二)の100%子会社で半導体リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社(本社: 栃木県小山市、以下「ギガフォトン」)は、高信頼性半導体リソグラフィ用エキシマレーザーを応用した、新型エキシマレーザー"GIGANEX"の開発に成功しました。またパネルメーカーに出荷された第一号試作機により、このほどLTPS(低温多結晶シリコン)TFT液晶パネルの試作成功に貢献し、2016年5月22日～27日に米国で開催された「SID Display Week 2016」(展示会)には、同試作パネルが出展されました。
[新型エキシマレーザー「GIGANEX」]
*将来の筐体イメージです。今後予告なしに変更される場合があります。
新型エキシマレーザー "GIGANEX"は、これまでギガフォトンが半導体リソグラフィで培った高い技術力を生かした、FPD製造・フレキシブルデバイスプロセス・リソグラフィ以外の半導体製造などの分野に向けたエキシマレーザーの新ブランドです。
ギガフォトンは、半導体リソグラフィ用エキシマレーザーで培った技術を他の分野で応用するため、FPD製造における、a-Si(アモルファスシリコン)膜のレーザーアニール工程用エキシマレーザーの開発を進めてきました。このほど開発に成功した第一号の試作機は、従来のa-Siでは作ることができなかった8Kなどの高精細パネルの製造が可能になり、また大型パネルサイズ50-70インチのTVパネルを製造する大型液晶製造設備でも対応できます。
ギガフォトンは、これからも新しいイノベーションを共に作り出すパートナーとともに、エキシマレーザーの更なる可能性を探索し、GIGANEXのソリューションを提供していきます。
*詳細については関連リンクを参照下さい。http://www.gigaphoton.com/ja/products/other/giganex-series
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